• 产品特点:
智能识别和实时控制脉冲稳定性
开机自动优化脉宽，冷启动速度快
智能反馈控制，长期功率稳定性好
脉宽窄时域质量高，满足低HAZ加工要求
一体化结构设计，光束指向稳定性高
脉冲控制模式灵活，支持多种触发工作模式
工业化设计，保障7x24小时连续工作
• 应用领域:
半导体晶圆隐切
钙钛矿电池划线
光波导加工
光栅刻写
金属、玻璃、高分子材料加工与表面处理
GENE-DW-1030/515是一款针对高效率工业场景研发的智能稳定飞秒激光器，智能算法加持可实现快速冷启动，脉冲参数智能识别和自动优化以及功率能量脉宽的长期稳定。激光器输出脉宽窄，光束质量和脉冲时域质量高，精密加工时热影响区小。一体化结构设计紧凑可靠，光束指向稳定性高，支持Trig、Gate、Burst、POD、PSO等多种触发工作模式，可保障工业用户7x24小时连续稳定工作。 此款双波长飞秒激光器集成1030nm和515nm两种波长输出可选，脉冲宽度小于350fs，1030nm单脉冲能量大于20μJ@1MHz，515nm单脉冲能量大于10uJ@1MHz，长期功率稳定性优于0.5% RMS。该产品可广泛应用于半导体晶圆隐切，钙钛矿电池划线，光波导加工，光栅刻写，金属、玻璃、高分子材料加工与表面处理等领域。
| 型号 | GENE-515-350-10 | GENE-1030-350-20 | GENE-1030/515-350-20 | |
| 输出特性 | ||||
| 中心波长 | 1030+/-5 nm | |||
| 最大平均输出功率 | 10W | 20W | 20/10W | |
| 最小脉宽 | <400fs | <400fs | <400fs | |
| 脉宽调谐（可选配） | 400~5000fs | 400~5000fs | 400~5000fs | |
| 最大单脉冲能量 | 10uJ | 20uJ | 20/10uJ | |
| 重复频率 | 1Hz~1MHz | 1Hz~1MHz | 1Hz~1MHz | |
| 脉冲选择 | 单脉冲，按需脉冲，任意基础频率整除 | |||
| 偏振 | 垂直 | 水平 | 水平/垂直 | |
| 光束质量, M² | M²≤1.3 | M²≤1.3 | M²≤1.3 | |
| 光斑直径 | 3 ±1 mm, 1/e² | 3 ±1 mm, 1/e² | 3 ±1 mm, 1/e² | |
| 光斑发散角 | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | |
| 光斑圆度 | ≥85% | ≥85% | ≥85% | |
| 光束指向稳定性 | <20μrad @1hour | <20μrad @1hour | <20μrad @1hour | |
| 脉冲宽度稳定性 | <1% RMS @最小脉宽 | <1% RMS @最小脉宽 | <1% RMS @最小脉宽 | |
| 功率稳定性(24小时) | <0.5% RMS | <0.5% RMS | <0.5% RMS | |
| 长期功率稳定性 (100小时) | <0.5% RMS | <0.5% RMS | <1% RMS | |
| 脉冲能量稳定性 (24小时) | <1% RMS | <1% RMS | <1% RMS | |
| 配置选项 | ||||
| 倍频模块 | 有 | 无 | 有 | |
| 电控激光快门Shutter | 标配 | 标配 | 标配 | |
| Burst脉冲串模式 | 可选 | 可选 | 可选 | |
| 输出脉冲选择器 | 可选 | 可选 | 可选 | |
| 指引光 | 可选 | 可选 | 可选 | |
| 外形尺寸 | ||||
| 激光器头 (长×宽×高) | 63x39x20cm | 63x39x20cm | 63x39x20cm | |
| 水冷机 (长×宽×高) | 58x29x9cm | 58x29x9cm | 58x29x9cm | |
| 电源箱 (长×宽×高) | 48x37x9cm | 48x37x9cm | 48x37x9cm | |
| 环境和使用要求 | ||||
| 工作环境 | 20~30℃ | 20~30℃ | 20~30℃ | |
| 相对湿度 | <80%（非冷凝） | <80%（非冷凝） | <80%（非冷凝） | |
| 电源箱 | 220 V AC 5 A | 220 V AC 5 A | 220 V AC 5 A | |
| 水冷机 | 220 V AC 8 A | 220 V AC 8 A | 220 V AC 8 A | |
| 电源箱 | 750W | 750W | 750W | |
| 水冷机 | 1240W | 1240W | 1240W | |
索取报价
在线咨询
021-54163809